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響潔凈室潔凈度和選擇氣流速度的因素有哪些
發(fā)布時(shí)間：
2022-04-11
在一定潔凈度條件下，氣流速度的確定因潔凈室的用途和其他具體情況而異。它不僅受室內(nèi)粉塵排放和過(guò)濾效率的影響，還受其他因素的影響。就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素有：
在一定潔凈度條件下，氣流速度的確定因潔凈室的用途和其他具體情況而異。它不僅受室內(nèi)粉塵排放和過(guò)濾效率的影響，還受其他因素的影響。就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素有：
(1)室內(nèi)污染源：潔凈室廠家認(rèn)為建筑構(gòu)件、人員數(shù)量和操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料和工藝本身都是塵粒釋放的來(lái)源，根據(jù)具體情況變化較大；
(2)室內(nèi)氣流形態(tài)和分布：?jiǎn)蜗蛄鲃?dòng)要求流線(xiàn)均勻、均等，但會(huì)受到工藝設(shè)備的布置和位置變化、人員活動(dòng)等因素的干擾。形成局部渦流；非單向流動(dòng)需要填充和混合，以避免死角和溫度分層；
(3)自清潔時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求：潔凈室中污染物的意外釋放或氣流中斷，正常運(yùn)行時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人員、設(shè)備的移動(dòng)都會(huì)導(dǎo)致潔凈度的惡化，恢復(fù)到原有潔凈度的自清潔時(shí)間取決于氣流速度；自清潔時(shí)間的控制要求取決于在該時(shí)間段內(nèi)(在清潔度惡化的情況下)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量影響的容忍度；
(4)末級(jí)過(guò)濾器的效率：潔凈室廠家認(rèn)為在室內(nèi)粉塵排放量一定的情況下，可以采用效率更高的過(guò)濾器來(lái)降低氣流速度；為了節(jié)能，應(yīng)該考慮采用高效的過(guò)濾器并降低氣流速度，或者采用更低效的過(guò)濾器并提高氣流速度，使流量和阻力的乘積小化；
(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過(guò)大的風(fēng)速增加了投資和運(yùn)行成本，合適的風(fēng)速是上述因素的合理組合，往往是不必要的，也不一定有效；
(6)對(duì)于潔凈度要求不高的潔凈室，有時(shí)換氣次數(shù)取決于室內(nèi)排熱的要求。
室內(nèi)潔凈室氣流的橫向擴(kuò)散只有在非常低的流速下才有可能。在合理的氣流組織下，單向流動(dòng)0.05 ~ 0.1m/s的流速就足以帶走污染物，而在此流速下，亞微米顆粒的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對(duì)流。而大于0.36m/s的空氣流速容易產(chǎn)生百萬(wàn)渦流，會(huì)導(dǎo)致污染物的重新卷入。因此，潔凈室的理想自清潔時(shí)間Tr=體積/流量。達(dá)到一定值后，由于污染物的再夾帶和空氣流速的增加，實(shí)際Tr不會(huì)明顯降低。
目前部分IC廠有ISO5 (0.3m)潔凈室，采用ULPA(99.9995%，0.12m)的FFU系統(tǒng)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其全分布率為25%，因此室內(nèi)平均風(fēng)速為0.095m/s，低于相關(guān)推薦或參考值的下限。在這個(gè)潔凈室中，微環(huán)境中在潔凈室中工作的人較少，可以認(rèn)為潔凈室中的工藝相對(duì)較低，在這種情況下，采用低氣流速度可能是可取的。
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